使用耐腐蝕碳化硅陶瓷反應(yīng)器，連續(xù)安全

氟氣極其貨品，其直接參與反應(yīng)時(shí)很難控制選擇性。常用的方式是先氯化，再用HF氟化。采用連續(xù)微反應(yīng)器技術(shù)，為氟氣直接氟化提供了便利。同時(shí)，操作也更安全，更。